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超精密Micro系列显微线扫相机

产品尺寸: * 135D * 205Wmm

有效宽度:6,14,28mm

清  晰  度:9600/19200/38400dpi

像素大小://

线扫速率:

焦距范围:± 

工作距离:/

数据接口:

主要应用:晶圆表面, 太阳能电池板,硅晶片等